Yarı İletken Endüstrisinde Bor Karbürün (B₄C) Uygulamaları
1. Ultra Hassas Taşlama ve Parlatma Aşındırıcı Tozu
- Tek kristalli silikon levhaların dilimlenmesi, arka yüzey inceltme ve ince parlatma işlemleri için kullanılan taşlama macunu; düşük yüzey altı hasarı, yüksek malzeme kaldırma oranı, ağır metal kirliliğinden arındırılmış.
- SiC/GaN güç yarı iletken alt tabakaları (IGBT, MOSFET, RF çipleri) için parlatma ortamı; sert geniş bant aralıklı kristal düzleştirme için idealdir.
- Gelişmiş DRAM üretiminde bor katkılı polisilikon sert maske için CMP aşındırıcısı, oksit/nitrür durdurma katmanlarına yüksek seçicilik sunar.
- Parlatma macunu, elmas taşlama diski, ince dilimleme için ücretsiz aşındırıcı.
2. İyon İmplantasyonu için Katı Bor Kaynağı
Yüksek saflıktaki B₄C, transistörler, bellek ve mantık çipleri için gerekli olan silikon levhaların P tipi katkılanması için B⁺ iyonları üretmek üzere iyon implantasyon cihazları için katı bor kaynağı görevi görür. Yüksek sıcaklıkta kararlıdır ve tutarlı katkılama dozuna sahiptir.
3. Aşındırma ve Kaplama Ekipmanları için Sinterlenmiş Bor Karbür Seramik Bileşenler
Flor/klor plazma erozyonuna karşı olağanüstü direnç, düşük partikül oluşumu, uzun hizmet ömrü:
- ICP/RIE kuru aşındırma cihazları için odak halkaları
- PECVD odaları için duş başlıkları / gaz dağıtım plakaları
- Oda astarları, ısı yalıtım kılıfları, elektrostatik tutucu tabanları
- Mikrodalga/IR pencereleri, yüksek sıcaklık gofret taşıyıcıları, DC yalıtım fişleri
4. Yüksek Saflıkta B₄C Püskürtme Hedefleri
PVD kaplama için: plazmaya dayanıklı sert maske ince filmleri, radyasyon kalkanı kaplamaları, wafer fikstürleri üzerinde aşınmaya dayanıklı koruyucu katmanlar.
5. Özel Elektronik ve Radyasyon Algılama Bileşenleri
- 2000°C’nin üzerinde çalışan yüksek sıcaklıklı geniş bant aralıklı yarı iletken cihazlar.
- Yarı iletken levha tavlama ve epitaksi fırınları için B₄C-grafit termokupllar (maks. 2300°C).
- Yarı iletkenlerin radyasyon güvenilirliği testleri için katı hal nötron dedektör çipleri.
- İyon implantasyonu ve çip ışınlama laboratuvarları için nötron kalkanlama astarları.