
Yarı İletken Endüstrisinde Bor Karbürün (B₄C) Uygulamaları
Yarı İletken Endüstrisinde Bor Karbürün (B₄C) Uygulamaları 1. Ultra Hassas Taşlama ve Parlatma Aşındırıcı Tozu Tek kristalli silikon levhaların dilimlenmesi, arka yüzey inceltme ve ince parlatma işlemleri için kullanılan taşlama macunu; düşük yüzey altı hasarı, yüksek malzeme kaldırma oranı, ağır metal kirliliğinden arındırılmış. SiC/GaN güç yarı iletken alt tabakaları (IGBT, MOSFET, RF çipleri) için parlatma



